知转果
发明
一种基于纳米金属的嵌入式三维互连结构制备方法已下证

基础信息

类型:
农业
申请号:
202011638463
申请日期
1970-01-01
发布日期
2022-07-01

专利详情

    本发明公开一种基于纳米金属的嵌入式三维互连结构制备方法,采用多片带孔洞或空腔的玻璃片粘合,形成具有三维空腔的基板结构;再通过点胶装置将纳米金属膏对三维空腔进行填充;填充完毕后,使用激光对三维空腔内的纳米金属进行定向烧结成型;最后对基板结构进行湿法清洗,去除残留纳米金属颗粒。本发明形成三维空腔的基板结构并采用纳米金属填充,然后烧结形成嵌入式三维互连的导体结构,无需采用电镀铜的方式,避免造成对环境的污染。

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