本发明公开一种基于纳米金属的嵌入式三维互连结构制备方法,采用多片带孔洞或空腔的玻璃片粘合,形成具有三维空腔的基板结构;再通过点胶装置将纳米金属膏对三维空腔进行填充;填充完毕后,使用激光对三维空腔内的纳米金属进行定向烧结成型;最后对基板结构进行湿法清洗,去除残留纳米金属颗粒。本发明形成三维空腔的基板结构并采用纳米金属填充,然后烧结形成嵌入式三维互连的导体结构,无需采用电镀铜的方式,避免造成对环境的污染。
合计:¥32000共1件服务
立即咨询
立即购物