知转果
发明
一种高密度线路嵌入转移的扇出型封装结构与方法已下证

基础信息

类型:
农业
申请号:
201910446516
申请日期
1970-01-01
发布日期
2022-07-01

专利详情

    一种高密度线路嵌入转移的扇出型封装结构,包括塑封层,以及封装固化于塑封层中露出功能面凸点的芯片;塑封层下有一层或多层介电层;介电层内有热压入的高密度嵌入再布线层;通过激光打孔贯穿嵌入的再布线层和介电层,电镀填充铜形成铜柱,实现介电层上面线路及下面线路电连接;高密度再布线层的外表面除了焊球的位置外均设置有介电层。本发明根据上述内容提出一种高密度线路嵌入转移的扇出型封装结构与方法,利用晶圆级制程设备制备再布线层,并进行线路转移,形成嵌入式再布线层,实现亚微米级的再布线线距,在相同芯片面积下可满足更多数量I/O连接。

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