本实用新型提供一种超细线路制备装置，其中，包括纳米铜气溶胶制备装置和纳米铜收集装置，所述纳米铜气溶胶制备装置通过管道与所述纳米铜收集装置连接，所述纳米铜收集装置包括外壳，所述外壳内部设有用于放置基板并接收所述纳米铜气溶胶制备装置制备出的纳米铜气溶胶的XY移动平台，以及用于对XY移动平台上放置的基板进行光烧结的光学系统，所述外壳上设有抽真空装置和出气口，所述出气口上设有第一单向排气阀。本实用新型能够有效避免纳米铜颗粒被氧化，显著提高基本上超细线路的加工效率，且成本低、无污染。