知转果
发明
一种用于Micro-LED巨量转移的可控分散方法及转移方法已下证

基础信息

类型:
农业
申请号:
201811491492
申请日期
1970-01-01
发布日期
2022-08-15

专利详情

    一种用于Micro‑LED巨量转移的可控分散方法及转移方法,包括分散平台,分散平台在旋转的同时进行升降或喷气,从而使放置在分散平台上的芯片做自由离心运动进而分散;a)芯片转移,将晶圆上的Micro‑LED芯片转移到橡胶承载片上;b)自由离心动作,橡胶承载片固定于离心式分散平台上,平台转动的同时进行升降或喷气,使芯片进行离心分散,经过单次或数次分散,使芯片阵列达到所需间隔和排布;c)芯片转移,将橡胶承载片上的芯片与承载基板上的焊盘对准,将芯片转移到基板的焊盘上。本方案利用Micro‑LED在分散平台做离心抛体运动的方式和倒装,实现巨量Micro‑LED的可控分散与转移。

合计:300001件服务

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