知转果
发明
一种基于纳米金属的深孔互连结构制备方法
已下证
基础信息
类型：
6纳米金属垂直互连填孔技术
申请号：
202011641344
申请日期
1970-01-01
发布日期
2022-08-20
专利详情
合计：
￥
40000
共
1
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