知转果
实用
一种基于多波长成像的硅晶圆无损双面检测设备
已下证
基础信息
类型：
44935
申请号：
CN202223207992.4
申请日期
2022-11-30
发布日期
2022-11-30
专利详情
合肥工业大学，发明人王莉,曹璐,张爽,胡轶航,冯熠
合计：
￥
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